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9J光切法顯微鏡具有相同頻率及振動(dòng)方向和恒定相位差的光線，在空間疊加會(huì)發(fā)生干涉現(xiàn)象，這就是光波的干涉原理。利用光波的干涉原理和顯微鏡非接觸檢測(cè)特點(diǎn)對(duì)試樣表面上高度極微小差別進(jìn)行測(cè)量。

測(cè)量顯微鏡利用直角座標(biāo)中測(cè)定長(zhǎng)度，例如測(cè)定孔距，基面距離，刻線距離，刻線寬度，鍵槽寬度，狹縫寬度，通孔外圓直徑等等。

數(shù)顯多功能測(cè)量顯微鏡采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量，適用于汽車零部件、電子行業(yè),超精密機(jī)械加工。

小型工具顯微鏡直角座標(biāo)中測(cè)定長(zhǎng)度，例如測(cè)定孔距、基面距離、刻線距離、刻線寬度、鍵槽寬度，狹縫寬度、通孔外圓直徑等等。